產品型號

PCE-22紫外臭氧清洗機

主要特點

1、僅室內使用; 海拔高度5500英尺以內;

2、溫度范圍：5-40℃;

3、相對濕度80％，30.5℃，40℃線性降至50％相對濕度;

4、主電源波動不超過額定電壓的10％;

5、污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。

6、去除分子級別的污染物

7、紫外光固化粘合劑

8、紫外光催化

9、氧化PDMS

10、表面消毒

11、刻蝕

12、清洗MEMS 器件

13、清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

技術參數

1、功率：350W

2、AC 208~240V，單相 50/60Hz

腔體&樣品臺

1、不銹鋼殼體

2、抽屜式樣品臺，以便放樣取樣

3、樣品臺面積310 mm x 320 mm

4、臭氧通風裝置安裝在腔體上

5、樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調）

6、樣品臺可以加熱，溫度可達150℃

7、可設置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

8、設備運行時間：0.01 秒- 99.9小時

排氣口

1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

2、請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

3、儀器中不包含橡膠管

紫外燈

1、可發(fā)出雙波長的水銀燈

2、功率：55W

3、發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm

4、使用壽命：2500 小時（可更換）

5、照射區(qū)域：200 x 200 mm

6、可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。

產品規(guī)格

1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

2、重量：28kg